抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ミリ波帯におけるCMOSチップ上の伝送線路のグランドのシールド効果を調べるために,金属薄板による平面波の反射係数と透過係数を解析的に導出した。金属薄板が無限の厚さと仮定した2層媒質モデルの反射係数・透過係数と比較して,金属薄板の透過の影響を調べた。厚さ0.5μmのアルミ薄板であれば,60GHz以上の周波数では両モデルの結果はよく一致し,金属薄板による透過は無視できた。また,金属薄板の導電率依存性も調べた。60GHzにおいて金属薄板の厚さが0.5μmであっても,導電率が2.0×10
7S/m以下では金属薄板による透過は無視できず,また,60GHzにおいてアルミ薄板の厚さが0.1μm以下になると垂直入射であっても透過することが分かった