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J-GLOBAL ID：201002255976769288   整理番号：10A0790418

TL(Thru-Line)校正によるパッド部のディエンベディング手法

De-embedding of Pads using Thru-Line (TL) Calibration

著者 (4件)： 平野拓一 (東京工大) ,  岡田健一 (東京工大) ,  広川二郎 (東京工大) ,  安藤真 (東京工大)
資料名： 電気学会電磁界理論研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： EMT-10  号： 62-101  ページ： 81-86  発行年： 2010年07月29日 
JST資料番号： Z0909A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： スルーパターンおよびラインパターンを用いて(TL校正)パッド部のディエンベディングを行った。TL校正は,スルーオンリー法やマルチライン法と似ているが,等価回路近似を用いないので,高い精度を有する。シミュレーションと実測により,TL校正によるパッド部のディエンベディングを行い,スルーリフレクトライン(TRL)校正と同程度の精度が得られることを立証した。また,Si CMOS基板上に作成したガイド付マイクロストリップ線路の測定値から伝搬定数を抽出し,解析値とよく一致することを確認した。TL校正によるディエンベディング手法はオープンパターンおよびショートパターンを用いるディエンベディングよりも高精度である。

シソーラス用語： キャリブレーション ,  精度 ,  シミュレーション ,  *マイクロストリップ線路 ,  伝搬定数 ,  半導体集積回路 ,  ウエハ【IC】 ,  EHF波 ,  CMOS集積回路 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： CMOS回路 ,  シリコン基板 ,  ミリ波

分類 (1件)： 電線・ケーブル  (NA05020S)

引用文献 (11件)：

• ENGEN, G. F. 'Thru-Reflect-Line' : an improved technique for calibrating the dual six-port automatic network analyzer. IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1979, MTT-27, 12, 987-993
• RYTTING, D. "TRL Calibration," IEEE MTT/ED Seminar. http://cpd.ogi.edu/IEEE-MTT-ED/TRL%20Calibration.pdf
• KOOLEN, M. C. A. M. An improved de-embedding technique for on-wafer high-frequency characterization. Proc. IEEE, Bipolar/BiCMOS Circuits and Tech. Meeting, Sept. 1991. 1991, 188-191
• GEORGAKOPOULOS, S. An S-parameter Extraction Technique for Broad-Band Characterization of Microstrip-to-SIW Transitions. IEEE AP-S Dig., June 2009. 2009
• ITO, H. A simple through-only de-embedding method for on-wafer S-parameter measurements up to 110GHz. IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest, June 2008. 2008, 383-386

タイトルに関連する用語 (5件)： Tl ,  LINE ,  校正 ,  パッド部 ,  手法