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J-GLOBAL ID：201002256173464603   整理番号：10A1464793

プラズマプロセスの応用技術 プラズマCVDによるカーボンナノチューブ合成

著者 (2件)： 野崎智洋 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  岡崎健 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： ケミカルエンジニヤリング  (Chemical Engineering (Tokyo))
巻： 55  号： 12  ページ： 923-928  発行年： 2010年12月01日 
JST資料番号： F0134A  ISSN： 0387-1037  CODEN： CMNGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,大気圧プラズマCVDにおけるCNT成長メカニズムの解明を目的として,プラズマシースから反応ガスを直接サンプリングし,その組成を四重極質量分析計,ガスクロマトグラフで定量的に分析した。ガス分析の結果に基づき,大気圧力プラズマCVDによる原料メタンの分解過程を考察し,さらに二次生成物である微量アセチレンを模擬した熱CVDを実施することで,ガス組成の変化がCNTの成長速度,性状,およびアモルファス炭素の生成に及ぼす影響を検討した結果を紹介した。大気圧プラズマで生成される微量アセチレンが単層,多層CNTの成長過程に大きな影響を及ぼしていることが実験的に検証された。

シソーラス用語： *プラズマ処理 ,  *化学プロセス ,  利用 ,  *プラズマCVD ,  *カーボンナノチューブ ,  *化学合成 ,  大気プラズマ ,  結晶成長 ,  プラズマさや ,  試料採取 ,  化学組成 ,  四重極質量分析計 ,  ガスクロマトグラフ ,  熱CVD ,  非晶質 ,  炭素 ,  単層カーボンナノチューブ ,  多層カーボンナノチューブ ,  実験装置 ,  ガス分析 ,  転化率 ,  Ramanスペクトル ,  同位体 ,  プロセス解析 ,  アルキン ,  アルカン
準シソーラス用語： アモルファス ,  サンプリング【試料採取】 ,  プラズマシース

分類 (3件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  反応操作(単位反応)  (XE01040I)

物質索引 (2件)： アセチレン ,  メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマプロセス ,  応用 ,  プラズマCVD ,  カーボンナノチューブ