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J-GLOBAL ID：201002260259926135   整理番号：10A1153174

シリコン太陽電池上に沿面放電プラズマを用いて作製した溝のエッチング特性

Etching Characteristics of Fabricated Grooves on Silicon Solar Cell using Surface Discharge Plasma

著者 (2件)： HAMADA Toshiyuki (Dep. of Materials and Informatics, Interdisciplinary Graduate School of Agriculture and Engineering, Univ. of Miyazaki) ,  SAKODA Tatsuya (Dep. of Electrical and Electronic Engineerign, Interdisciplinary Graduate School of Agriculture and Engineering ...)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 130  号： 11  ページ： 999-1003 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 埋込みコンタクトは太陽電池の効率を改善する方法の一つであるが,太陽電池の表面にパターニングしたフロントコンタクトのエッチングが必要になる。それ故,大気圧で動作する沿面放電プラズマを用いたマスクレスエッチング法を提案した。水晶ガラス層,太陽電池,ガス空間の三重会合点近くに形成されるストリーマ状放電チャネルはエッチングに重要な役割を演じた。表面が不規則分布ピラミット状構造をしている太陽電池のエッチング速度は,4.0kVの印加電圧で3-5μmの範囲であった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *太陽電池 ,  *沿面放電 ,  プラズマ ,  *エッチング ,  *溝加工 ,  *プラズマ加工 ,  埋込み【挿入】 ,  ストリーマ ,  非平衡状態 ,  気圧 ,  単結晶 ,  エネルギー変換効率 ,  有限要素法 ,  二次元 ,  シミュレーション ,  放電プラズマ
準シソーラス用語： 大気圧

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (7件)：

• WENHAM, S. Buried-contact silicon solar cells. Progress in Photovoltics. 1992, 1, 1, 3-10
• HORZEL, J. A Simple Processing Sequence for Selective Emitter. Proc. of 26^<th> IEEE PVSC, 1997. 1997, 139-142
• SAKODA, T. Selective Etching of Silicon Nitride Film on Single Crystalline Silicon Solar Cell Using Intensive Surface Discharge. Jpn. J. Appl. Phys. 2006, 45, 5A, 3992-3993
• HAMADA, T. Optimization of Convex Electrode Geometry for Surface Discharge Used for Fabrication of the Electrode Groove on Solar Cell. Surf. Coat. Tech. 2008, 202, 5405-5409
• HAMADA, T. Fabrication of Electrode Groove on Silicon Solar Cell Using High Pressure Surface Discharge. IEEJ Trans. FM. 2008, 128, 12, 733-739

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン太陽電池 ,  沿面放電 ,  プラズマ ,  作製 ,  エッチング特性