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J-GLOBAL ID：200902205853650954   整理番号：08A1242984

高気圧沿面放電による太陽電池用電極溝の作製

Fabrication of Electrode Groove on Silicon Solar Cell using High-Pressure Surface Discharge

著者 (4件)： 濱田俊之 (宮崎大学大学院農学工学総合研究科) ,  荒川純一 (宮崎大学大学院工学研究科) ,  大坪昌久 (宮崎大学工学部電気電子工学科) ,  迫田達也 (宮崎大学工学部電気電子工学科)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 128  号： 12  ページ： 733-739 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 結晶シリコン系太陽電池に受光面電極を形成する際,電極パターンの形状に合わせて電極溝を作製することが太陽電池の高効率化には有効である。また,電極溝表面のn型層に高濃度のリン拡散などで電極を形成することで,エミッタ構造にすることにより,キャリア再結合を抑制して太陽電池の高性能化を図ることができる。そこで,シリコン太陽電池表面の電極溝作製に沿面放電プラズマを適用することを提案した。本手法においては,直角の角を持つガラス誘電体により,金属電極の一方を被覆することで,ガラス誘電体側面に局所化した沿面放電プラズマを一様に生成することに成功した。本研究により,大気圧以上の高気圧沿面放電プラズマによるエッチングは,太陽電池用単結晶シリコン基板表面における受光面電極用電極溝の作製に有効であることが明らかとなった。また,幅の細い電極溝を作製するためには,高い放電維持電圧で短時間のエッチングが有効であった。

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *沿面放電 ,  *放電加工 ,  電極 ,  *溝加工 ,  *ケイ素 ,  単結晶 ,  プラズマエッチング
準シソーラス用語： *単結晶シリコン

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (9件)：

• HORZEL, J. A Simple Processing Sequence for Selective Emitters. Proc. of 26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 1997. 1997, 139-142
• 電気学会太陽電池調査専門委員会. 太陽電池ハンドブック. 1985
• WENHAM, S. R. Buried Contact Silicon Solar Cells. Sol. En. Mat. and Solar Cells. 1994, 34, 101-110
• FATH, P. Processing, Characterization, and Simulation of Mechanically Textured Crystalline Silicon Solar Cells. PhD Thesis, University of Konstantz. 1998
• 林泉. プラズマ工学. 2002

タイトルに関連する用語 (4件)： 高気圧 ,  沿面放電 ,  太陽電池 ,  作製