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J-GLOBAL ID：201102200440591484   整理番号：11A0902265

液中プラズマ化学蒸着法におけるダイヤモンドの最適生成条件の検討

著者 (5件)： 豊田洋通 (愛媛大) ,  渡部将弘 (愛媛大) ,  野村信福 (愛媛大) ,  向笠忍 (愛媛大) ,  服部吉晃 (愛媛大)
資料名： 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集  (日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演概要集)
巻： 49th  ページ： 425-426  発行年： 2011年02月23日 
JST資料番号： L0015A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *薄膜 ,  最適条件 ,  電極 ,  薄膜成長 ,  結晶度 ,  *ダイヤモンド膜
準シソーラス用語： *プラズマ化学蒸着

分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 液中プラズマ ,  化学蒸着法 ,  ダイヤモンド