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J-GLOBAL ID：201102204130575387   整理番号：11A1489820

Si貫通ビア領域のテラヘルツ波イメージング

著者 (5件)： 中西英俊 (大日本スクリーン製造) ,  竹家啓 (大阪大) ,  川山巌 (大阪大) ,  村上博成 (大阪大) ,  斗内政吉 (大阪大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 72nd  ページ： ROMBUNNO.2A-F-3  発行年： 2011年08月16日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *バイアホール ,  *タイムドメイン分光法 ,  有限差分時間領域法 ,  深さ分布 ,  ウエハ【IC】 ,  エッチング ,  *シリコン貫通ビア ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： *Si貫通ビア ,  *テラヘルツイメージング ,  *テラヘルツ時間領域分光法 ,  Siウエハ

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： Si貫通ビア ,  テラヘルツ波イメージング