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J-GLOBAL ID：201102209684853208   整理番号：11A1533894

オンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデリングの一検討

著者 (4件)： 平野拓一 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  岡田健一 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  広川二郎 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  安藤真 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
巻： 2011  号： エレクトロニクスソサイエティ1  ページ： 271  発行年： 2011年08月30日 
JST資料番号： G0508A  ISSN： 1349-1369  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： RF回路のオンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデルについて検討を行った。解析モデルの4ポートSパラメータから,測定と同じ2ポートSパラメータに変換する方法を示した。一例としてオープンスタブの解析を行った。解析結果と測定結果は良く一致した。(著者抄録)

シソーラス用語： ウエハ【IC】 ,  計測 ,  パッド ,  *計算機シミュレーション ,  モデリング ,  S行列 ,  電気回路 ,  *計測システム ,  *シミュレーションモデル ,  Sパラメータ ,  高周波回路 ,  *電磁界数値解析 ,  *計算機利用 ,  *利用
準シソーラス用語： RF回路 ,  スタブ ,  *電磁界シミュレーション

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  計算機シミュレーション  (JE11000H)

タイトルに関連する用語 (4件)： パッド ,  励振 ,  電磁界シミュレーション ,  モデリング