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J-GLOBAL ID：201102256571373992   整理番号：11A0130773

傾斜機能材料の開発と新展開 コンビナトリアル手法を用いたナノエレクトロニクス材料における合金薄膜材料開発

著者 (2件)： 長田貴弘 (物質・材料研究機構) ,  知京豊裕 (物質・材料研究機構)
資料名： 金属  (Materials Science & Technology)
巻： 81  号： 1  ページ： 32-37  発行年： 2011年01月01日 
JST資料番号： F0157A  ISSN： 0368-6337  CODEN： KNZKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 傾斜機能材料設計思想をナノエレクトロニクス材料へ適用した例について紹介した。ここでは,合金薄膜材料に対してコンビナトリアル手法を適用した。初めにコンビナトリアルケミストリーについて簡単に説明し,その後,イオンビームスパッタ-コンビナトリアル合成および薄膜評価法について解説した。そして,研究例を二つ示した。これらは,酸化物薄膜への金属電極の最適化とメタルゲート材料探索である。前者ではPt-Ru傾斜組成薄膜の各組成における電気特性を示し,後者では,HfO₂上のPt-W傾斜組成材料について各組成における仕事関数を示した。

シソーラス用語： *傾斜機能材料 ,  *金属薄膜 ,  コンビナトリアルケミストリー ,  白金合金 ,  ルテニウム合金 ,  白金添加合金 ,  ルテニウム添加合金 ,  タングステン合金 ,  *電気的性質

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  電気的性質  (WB02010Y)

タイトルに関連する用語 (7件)： 傾斜機能材料 ,  開発 ,  展開 ,  コンビナトリアル手法 ,  ナノエレクトロニクス ,  合金薄膜 ,  材料開発