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J-GLOBAL ID：201102261551932719   整理番号：11A0991707

大気圧プラズマが拓くあたらしい技術 大気圧プラズマによるカーボンナノチューブ合成

著者 (1件)： 野崎智洋 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 化学工学  (Chemical Engineering of Japan)
巻： 75  号： 6  ページ： 370-372  発行年： 2011年06月05日 
JST資料番号： F0099A  ISSN： 0375-9253  CODEN： KKGKA4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気圧環境では,プラズマCVDにおいて重要な役割を果たしているシース,すなわち電極表面とバルクプラズマの間に形成されるマイクロスケールの境界領域において粒子衝突が頻繁に生じており,基板へ流入するイオンがほとんど加速されない。さらに,大気圧ではシースがラジカル輸送の抵抗層として作用するため,過剰な活性種供給を抑制してCNTへ与えるダメージを低減する。その結果,減圧プラズマでは合成が極めて困難とされてきた単層CNTを高い純度で合成することが可能になる。本稿では,大気圧プラズマの概要を紹介した後,大気圧だからこそ可能となるプラズマCVDによる単層CNT合成について概説した。大気圧プラズマの特徴とCVDへの応用,プラズマCVDによるCNT合成,プラズマによる原料メタンの分解,微量アセチレン添加によるCNT合成などについて解説した。

シソーラス用語： *大気プラズマ ,  *技術 ,  カーボンナノチューブ ,  *化学合成 ,  *プラズマCVD ,  ラジカル反応 ,  *単層カーボンナノチューブ ,  純度 ,  分解反応 ,  電極 ,  *プラズマ応用 ,  長さ ,  境界領域 ,  衝突 ,  アルキン ,  アルカン ,  マイクロスケール ,  放電プラズマ ,  粒子衝突
準シソーラス用語： *新技術

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  化学工学一般  (XA01000E)

物質索引 (2件)： アセチレン ,  メタン

引用文献 (14件)：

• KOGELSCHATZ, U. Plasma Chem. and Plasma Process. 2003, 23, 1-46
• 大久保雅章. プラズマ・核融合学会誌. 2008, 84, 121-134
• 小駒益弘監修. 大気圧プラズマの生成制御と応用技術. 2006
• 橘邦英監修. マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用. 2006
• KANAZAWA, S. J. Phys. D. 1988, 21, 838-840

タイトルに関連する用語 (2件)： 大気圧プラズマ ,  カーボンナノチューブ