特許

J-GLOBAL ID：201103010111343445

表面形状認識用センサの製造方法

発明者： 佐藤 昇男 ,  町田 克之 ,  久良木 億 ,  重松 智志 ,  森村 浩季 ,  島村 俊重
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016793
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221403
特許番号：特許第3553889号
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体基板上に第1の電極を形成する工程と、前記半導体基板上の前記第1の電極の周囲に第2の電極を形成する工程と、この第2の電極上に、前記第1の電極と離間して対向するよう第3の電極を形成する工程と、この第3の電極上に第1の絶縁体をSTP法により転写する工程と、この第1の絶縁体上に第2の絶縁体を形成する工程と、この第2の絶縁体を突起形状に加工する工程とからなることを特徴とする表面形状認識用センサの製造方法。

IPC (3件)：

G01B 7/28 ,  A61B 5/117 ,  G06T 1/00

FI (3件)：

G01B 7/28 A ,  G06T 1/00 400 G ,  A61B 5/10 322

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 表面形状認識用センサおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-053911   出願人：日本電信電話株式会社