ポリイミド多層膜及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中本宏 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-012436
公開番号（公開出願番号）：特開平4-235034
特許番号：特許第2987820号
出願日： 1991年01月10日
公開日（公表日）： 1992年08月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】有機溶媒に可溶なポリイミド膜の上層にポリイミド膜が形成されているポリイミド多層膜において、有機溶媒に可溶なポリイミド膜の少なくとも一つが、2,2’-ビス(トリフルオロメチル)-4,4’-ジアミノビフェニルが合成原料として含まれているポリイミド、ポリイミド共重合体、又はポリイミド混合物であることを特徴とする光部品用ポリイミド多層膜。

IPC (5件)：