特許
J-GLOBAL ID:201103038172619550
ポリイミド光導波路の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中本 宏 (外2名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-012571
公開番号(公開出願番号):特開平4-235505
特許番号:特許第2816770号
出願日: 1991年01月11日
公開日(公表日): 1992年08月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】 コア層として有機溶媒に可溶なポリイミドを用いるポリイミド光導波路の製造において、380°C以上での熱処理を行いコア層を形成することを特徴とするポリイミド光導波路の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G02B 6/12 M
, G02B 6/12 N
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