特許
J-GLOBAL ID:201103039030673724
高分子フィルム光導波路及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中本 宏 (外1名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-054376
公開番号(公開出願番号):特開平7-239422
特許番号:特許第3296458号
出願日: 1994年03月01日
公開日(公表日): 1995年09月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 コアとクラッドがポリイミドよりなる高分子フィルム光導波路において、前記高分子フィルム光導波路が仮基板上に形成された後に仮基板よりはく離され、更に光学的に均一化するために、350°C以上かつ当該ポリイミドの熱分解温度未満の温度で少なくとも1回の熱処理をされてなるものであることを特徴とする高分子フィルム光導波路。
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許:
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