特許
J-GLOBAL ID:201103048130386926
圧電素子を用いたアクチュエータ及びこのアクチュエータを使用したヘッドの微小移動機構
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
石田 敬 (外2名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-185385
公開番号(公開出願番号):特開平11-031368
特許番号:特許第3420915号
出願日: 1997年07月10日
公開日(公表日): 1999年02月02日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ベースとなる固定部材と、この固定部材上に並列に隣接配置された圧電素子からなる2つの駆動部材と、これら2つの駆動部材上に跨がって配置された可動部材とを備え、前記各圧電素子の前記固定部材側の面と前記可動部材側の面との間に印加される電圧によって動作する、圧電素子を用いたアクチュエータであって、前記圧電素子には、素子の厚さ方向に直交する方向に分極され、素子の厚さ方向の両面に設けられた電極間に電圧を与えることによって素子が剪断変形するものが使用され、前記駆動部材は、前記圧電素子がその分極方向を互いに逆向きにされた状態で概ね平行に配置されて構成されており、前記2つの圧電素子の各電極間にそれぞれ同じ向きの電圧が印加されることにより、前記固定部材に対して前記可動部材が回転駆動されるように構成され、前記可動部材が、前記圧電素子によって直接駆動される基部と、この基部から突出する移動量拡大部から構成され、前記基部にはこの基部を二分するような第1の切り欠きが設けられており、この第1の切り欠きは、この基部に重なる前記駆動部材の分極方向に平行な方向になっていることを特徴とする圧電素子を用いたアクチュエータ。
IPC (3件):
G11B 21/10
, G11B 5/596
, G11B 21/21
FI (3件):
G11B 21/10 N
, G11B 5/596
, G11B 21/21 D
引用特許:
審査官引用 (9件)
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特開平2-236875
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磁気記録再生装置および磁気ヘッド支持機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-038250
出願人:日本電気株式会社
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特開平2-151277
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走査トンネル顕微鏡の探針移動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-180472
出願人:日本電子株式会社
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ねじりアクチュエータとその製作方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-231764
出願人:フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
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特開平2-036578
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特開平2-236875
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特開平2-151277
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特開平2-036578
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