特許
J-GLOBAL ID：201103059220889490
光スイッチ装置及び光スイッチ装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-071559
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270554
特許番号：特許第3953849号
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体基板上の特定平面の上に形成された導電性を有する支柱と、
この支柱に電気的に接続して支持されて前記特定平面の上部に所定の空間をあけて配置され、開口領域を備えた導電性を有するミラー基板と、
このミラー基板の前記開口領域の内側に配置されて前記ミラー基板に連結部を介して回動可能に連結されかつ電気的に接続された導電性を有するミラーと、
このミラーの下部の前記特定平面の上に前記ミラーと離間して形成された制御電極部と、
前記特定平面下の前記半導体基板上に形成された複数の素子からなり、前記支柱及び前記制御電極部に接続して前記ミラーの回動動作の制御を行う制御回路と
を少なくとも備え、
前記支柱は、第1金属パターンとこの上に積層された第2金属パターンとの積層体から構成され、
前記制御電極部は、前記第1金属パターンと同じ膜厚に形成された第3金属パターンから構成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
IPC (3件)：
G02B 26/08 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
, B81C 1/00 ( 200 6.01)
G02B 26/08 E
, B81B 3/00
, B81C 1/00
