特許

J-GLOBAL ID：201103073102902018

走査型ローレンツ力プローブ顕微鏡およびこれを用いた情報記録再生装置

発明者： 真島 豊
出願人/特許権者： 財団法人理工学振興会
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-087040
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098061
特許番号：特許第3992139号
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 試料表面に接触して対向配置され、該試料表面との間にオーミック電流又はショットキー電流の流れる探針と、前記探針に電流を流すための電源と、前記探針に流れる電流と前記試料表面の磁束との間にはたらくローレンツ力によるカンチレバーの撓み量を検出するローレンツ力検出手段とを備えたことを特徴とする走査型ローレンツ力プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 13/22 ( 200 6.01) ,  G01N 13/10 ( 200 6.01) ,  G11B 5/02 ( 200 6.01) ,  G11B 9/14 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G01N 13/22 101 ,  G01N 13/22 101 B ,  G01N 13/10 J ,  G11B 5/02 Z ,  G11B 9/14 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-068880
  
• 走査型プローブ顕微鏡の探針および力検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-344143   出願人：株式会社ニコン