特許
J-GLOBAL ID：201103078234948868
表面形状認識用センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-270104
公開番号（公開出願番号）：特開2005-024480
特許番号：特許第4025261号
出願日： 2003年07月01日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体基板の上に形成された層間絶縁層の同一平面上に配列された複数の第1検出素子と、
前記層間絶縁層の同一平面上に配列された複数の第2検出素子と、
前記層間絶縁層の下方に設けられた集積回路と
を備え、
前記集積回路は、
前記第1検出素子に接続する第1検出回路と、
前記第2検出素子に接続する第2検出回路と、
前記第1検出回路及び第2検出回路を制御する制御回路と
を含み、
前記第1検出素子と前記第2検出素子とは、検出機構が異なるものであることを特徴とする表面形状認識用センサ。
IPC (4件)：
G01B 7/28 ( 200 6.01)
, G01D 21/02 ( 200 6.01)
, G01L 5/00 ( 200 6.01)
, G06T 1/00 ( 200 6.01)
G01B 7/28 A
, G01D 21/02
, G01L 5/00 101 Z
, G06T 1/00 400 G
