特許
J-GLOBAL ID：201103080375179137
表面形状認識用センサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-021667
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328004
特許番号：特許第3516945号
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体基板上に形成された層間絶縁膜の同一平面に各々が絶縁分離されかつ各々固定配置された下部電極、およびこの下部電極上に所定の間隔をあけて配置され複数の開口部を備えた金属からなる変形可能な板状の上部電極から構成された複数の容量検出素子と、前記下部電極の周囲に前記下部電極とは絶縁分離されて配置され前記下部電極より高く形成されて前記上部電極を支持する支持部材と、前記上部電極上に配置されて前記開口部を塞ぐように形成された保護膜と、この保護膜の前記容量検出素子上の領域に配置された複数の突起状構造体と、前記下部電極上に配置された電極絶縁膜とを備え、前記上部電極は、前記電極絶縁膜上に所定の間隔をあけて配置されたものであることを特徴とする表面形状認識用センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 7/28 A
, A61B 5/10 322
