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J-GLOBAL ID：201202220354446534   整理番号：12A1568022

統合ナノエレクトロニクスデバイスのためのカーボンナノチューブウエハの階層的三次元層毎集合

Hierarchical Three-Dimensional Layer-by-Layer Assembly of Carbon Nanotube Wafers for Integrated Nanoelectronic Devices

著者 (13件)： YAMADA Takeo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  MAKIOMOTO Natsumi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  SEKIGUCHI Atsuko (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  YAMAMOTO Yuki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  KOBASHI Kazufumi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  HAYAMIZU Yuhei (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  YOMOGIDA Yoshiki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  TANAKA Hiroyuki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  SHIMA Hisashi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  AKINAGA Hiroyuki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  FUTABA Don N. (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  HATA Kenji (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN) ,  HATA Kenji (Japan Sci. and Technol. Agency (JST), Kawaguchi, JPN)
資料名： Nano Letters  (Nano Letters)
巻： 12  号： 9  ページ： 4540-4545  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 任意の基板への単層カーボンナノチューブ(SWCNT)膜の結合によるCNTのデバイスへ統合し,それらを緻密化及びリソグラフィー的に処理可能なCNTウエハーへ転換するための多数の障害を克服する一般的方法を報告した。本研究法は,例えばSiまたは柔軟性基板との接触の有無でのニ方向性アイランド,クロスバーアレイに対して,SWNTの有機三次元構造への階層化層毎集合が可能である。それらの有機化SWNT構造は,低パワー抵抗性ランダムアクセスメモリーを用いて統合化され得る。

シソーラス用語： *単層カーボンナノチューブ ,  ウエハ【IC】 ,  *階層構造 ,  自己組織化 ,  薄膜成長 ,  柔軟性 ,  構造 ,  *RAM【メモリ】
準シソーラス用語： LBL集合 ,  ランダムアクセスメモリ ,  階層化 ,  三次元構造

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  記憶装置  (JC04060F)

タイトルに関連する用語 (4件)： 統合 ,  ナノエレクトロニクス ,  デバイス ,  集合