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J-GLOBAL ID：201202278979726320   整理番号：12A0141453

半導体結晶表面における弾性波伝搬の大規模分子動力学シミュレーション

著者 (3件)： 藥師川裕貴 (岡山大 大学院) ,  鶴田健二 (岡山大 大学院) ,  藤森和博 (岡山大 大学院)
資料名： 日本機械学会計算力学講演会論文集(CD-ROM)  (日本機械学会計算力学講演会(CD-ROM))
巻： 24th  ページ： ROMBUNNO.1306  発行年： 2011年 
JST資料番号： L0203B  ISSN： 2424-2799  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 2次元等方物質において,レンズ効果や負の屈折などの弾性波の制御ができることが確認されている。半導体結晶表面において,これらの効果が原子レベルで実現できれば,欠陥がある部分での弾性波の散乱を利用した結晶表面上の欠陥の探知など様々な応用が期待できる。本研究では,分子動力学法に基づく大規模数値シミュレーションにより,Si表面における表面弾性波の振舞い,特に結晶の異方性の影響や,その波源の深さ依存性,表面欠陥との相互作用,さらには表面に形成するナノ構造によるフィルタやレンズ効果の発現の可能性を探る。(著者抄録)

シソーラス用語： 計算機シミュレーション ,  *弾性表面波 ,  異方性 ,  効果 ,  *等方性媒質 ,  散乱 ,  *波動伝搬 ,  *半導体 ,  *結晶 ,  ナノ構造 ,  レンズ効果 ,  分子動力学シミュレーション ,  計算機利用 ,  利用
準シソーラス用語： *表面弾性波

分類 (1件)： 波動論  (BA05000K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 半導体結晶 ,  弾性波伝搬 ,  大規模 ,  分子動力学シミュレーション