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J-GLOBAL ID：201202291583636260   整理番号：12A0613295

CMOSチップ上ダミーメタルフィルの等価電気媒質定数の電磁界解析

著者 (4件)： 平野拓一 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  岡田健一 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  広川二郎 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  安藤真 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
巻： 2012  号： エレクトロニクス1  ページ： 310  発行年： 2012年03月06日 
JST資料番号： G0508A  ISSN： 1349-1369  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 今後はオンチップアンテナ,スパイラルインダクタ等の電磁界解析に等価媒質定数モデルを応用する予定である。(著者抄録)

シソーラス用語： CMOS構造 ,  *電磁場解析 ,  媒質 ,  *導電媒質 ,  *半導体チップ ,  マイクロ波集積回路 ,  半導体プロセス ,  化学研磨 ,  伝送特性 ,  ダミー ,  化学機械研磨 ,  ミリ波集積回路 ,  MOS構造 ,  機械工作
準シソーラス用語： CMP【化学研磨】 ,  CMOSプロセス ,  *ICチップ ,  ミリ波IC ,  *電磁界解析

分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  数値計算  (JE02000J)

タイトルに関連する用語 (5件)： CMOSチップ ,  等価 ,  媒質 ,  定数 ,  電磁界解析