特許
J-GLOBAL ID：201203050467426883
磁気力顕微鏡及び高空間分解能磁場測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小池 晃
, 伊賀 誠司
, 藤井 稔也
, 野口 信博
, 祐成 篤哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-270138
公開番号（公開出願番号）：特開2012-198192
出願日： 2011年12月09日
公開日（公表日）： 2012年10月18日
要約：
【課題】従来の磁気力顕微鏡では、カンチレバーの一次共振周波数が探針走査時に変動するため、変調周波数信号の位相が変動し、位相情報付き磁場分布を得ることが困難である。励磁周波数が100Hz程度と低いため、測定時間が長くなってしまう。FM変調信号という間接的な信号を測定するために、S/N比を高くすることが困難である。【解決手段】本発明の磁気力顕微鏡は、磁性体を有する探針1付きのカンチレバー2と、第1の共振周波数で励振する第1の発振器4と、変位検出回路7と、微動素子16と、微動素子16を駆動するz軸駆動部12と、第2の共振周波数で励磁する第2の発振器13と、変位信号及び参照信号を入力するロックインアンプ21とを備えている。そして、z軸駆動部12は、変位信号及び第1の共振周波数に基づいて、探針1を磁気記録ヘッド8に対して接近させ又は離間させ、ロックインアンプ21は、変位信号及び参照信号に基づいて、磁場データを生成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
磁性体からなる探針又は磁性体を塗布若しくは薄膜形成した探針を先端に有するカンチレバーと、
上記カンチレバーを該カンチレバーの第1の共振周波数で励振する第1の発振器と、
上記カンチレバーの先端の変位を検出する変位検出器と、
試料を上面に固定して、上記探針を該試料に対して接近させ、離間させ、又は測定位置の移動をさせる微動素子と、
上記微動素子を駆動する駆動部と、
上記試料を上記カンチレバーの第2の共振周波数で励磁する第2の発振器と、
上記変位検出器から出力される変位信号及び上記第2の共振周波数である参照信号を入力する微小信号増幅器とを備え、
上記駆動部は、上記変位検出器によって検出された上記カンチレバーの先端の変位及び上記第1の共振周波数に基づいて、上記微動素子を駆動することによって上記探針を上記試料に対して接近させ又は離間させて、該試料の凹凸形状を測定し、
上記微小信号増幅器は、上記試料の凹凸形状、上記変位信号及び上記参照信号に基づいて、上記試料表面の磁場に応じた出力を生成することを特徴とする磁気力顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01Q60/50
, G01Q80/00 101
