特許

J-GLOBAL ID：201203072340003910

電界分布またはキャリア分布を高次高調波の強度に基づいて検出する検出装置

発明者： 京増 幹雄 ,  岩本 光正 ,  間中 孝彰 ,  田口 大 ,  烏田 哲州 ,  榊原 正毅 ,  高橋 文博
出願人/特許権者： プレサイスゲージ株式会社 ,  国立大学法人東京工業大学
代理人 (2件)： 安形 雄三 ,  五十嵐 貞喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-175396
公開番号（公開出願番号）：特開2012-038805
出願日： 2010年08月04日
公開日（公表日）： 2012年02月23日
要約：

【課題】 キャリアの発生、消滅を評価する手段を有する検出装置を提供すること。【解決手段】 観察対象物に設けられた電極間における電界分布またはキャリア分布を高次高調波に基づいて検出する検出装置において、前記観察対象物に基本波を照射する照射部と、前記観察対象物における電圧印加時の電圧分布又はキャリア分布に応じて生成された前記高次高調波を検出する検出部と、前記観察対象物にキャリアを発生させるための励起光を照射する励起照射部と、前記励起照射部の第1信号に基づき、前記励起照射部より前記観察対象物に前記基本波を第2信号で照射させ、第3信号で高次高調波を前記検出部で検出する制御信号出力部を備え、前記制御信号出力部は、前記第1信号の出力時点と前記第2及び第3の出力時点との間の時間間隔を変更可能に構成した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

観察対象物に設けられた電極間における電界分布またはキャリア分布を高次高調波に基づいて検出する検出装置であって、該検出装置は、 前記観察対象物に基本波を照射する照射部と、 前記観察対象物における電圧印加時の電圧分布又はキャリア分布に応じて生成された前記高次高調波を検出する検出部と、 前記観察対象物にキャリアを発生させるための励起光を照射する励起照射部と、 前記励起照射部の第1信号に基づき、前記励起照射部より前記観察対象物に前記基本波を第2信号で照射させ、第3信号で高次高調波を前記検出部で検出する制御信号出力部を備え、 前記制御信号出力部は、前記第1信号の出力時点と前記第2及び第3の出力時点との間の時間間隔を変更可能に構成されることを特徴とする、検出装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  H01L 51/05 ,  H01L 51/40

FI (4件)：

H01L21/66 L ,  H01L21/66 M ,  H01L29/28 100A ,  H01L29/28 390

Fターム (9件)：

4M106AA10 ,  4M106BA05 ,  4M106BA06 ,  4M106BA14 ,  4M106CB02 ,  4M106CB11 ,  4M106DH12 ,  4M106DH32 ,  4M106DH38