特許
J-GLOBAL ID:201203098963236299

プラズマを用いた検出方法および検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 中尾 俊輔 ,  伊藤 高英 ,  畑中 芳実 ,  大倉 奈緒子 ,  玉利 房枝 ,  鈴木 健之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-001945
公開番号(公開出願番号):特開2012-145360
出願日: 2011年01月07日
公開日(公表日): 2012年08月02日
要約:
【課題】本発明は、従来の検出装置と比べて、更なる検出感度の向上を可能とするプラズマを用いた検出方法および検出装置を提供することを目的とする。【解決手段】プラズマ発生用ガスにより生成したプラズマと被測定物質を含むキャリアガスとを混合することによってイオン化された前記被測定物質および/または前記被測定物質から発生した電子を絶縁体からなる管を介して接続されたコレクタ室内において捕集する際に、前記プラズマの流れ方向において前記絶縁体からなる管の上流側の開口部に接続された部材と前記絶縁体からなる管の下流側の開口部に接続された部材とに電位差を設ける。 【選択図】 図1
請求項(抜粋):
プラズマ発生用ガスにより生成したプラズマと被測定物質を含むキャリアガスとを混合することによってイオン化された前記被測定物質および/または前記被測定物質から発生した電子を絶縁体からなる管を介して接続されたコレクタ室内において捕集する際に、前記プラズマの流れ方向において前記絶縁体からなる管の上流側の開口部に接続された部材と前記絶縁体からなる管の下流側の開口部に接続された部材とに電位差を設けることを特徴とするプラズマを用いた検出方法。
IPC (1件):
G01N 21/73
FI (1件):
G01N21/73
Fターム (4件):
2G043AA01 ,  2G043CA02 ,  2G043DA05 ,  2G043EA08
引用特許:
審査官引用 (3件)
引用文献:
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