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J-GLOBAL ID：201302222771979863   整理番号：13A1720929

Si導波層を有する導波路型光アイソレータ実現のための感光性接着剤を用いたボンディングの検討

著者 (5件)： 妙圓薗勇 (芝浦工大 大学院) ,  田村大介 (芝浦工大 大学院) ,  横井秀樹 (芝浦工大 大学院) ,  庄司雄哉 (東京工大 大学院) ,  水本哲弥 (東京工大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 74th  ページ： ROMBUNNO.19A-P2-21  発行年： 2013年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *アイソレータ ,  ケイ素 ,  感光性樹脂版 ,  接着剤 ,  *ボンディング【IC】 ,  光導波路
準シソーラス用語： 光アイソレータ

分類 (2件)： その他の光伝送素子  (BD06040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： Si ,  導波路 ,  光アイソレータ ,  感光性 ,  接着剤 ,  ボンディング