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J-GLOBAL ID：201302239627589007   整理番号：13A1856717

プラズマプロセスの新しい応用 大気圧プラズマとその応用

著者 (1件)： 野崎智洋 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： ケミカルエンジニヤリング  (Chemical Engineering (Tokyo))
巻： 58  号： 12  ページ： 887-891  発行年： 2013年12月01日 
JST資料番号： F0134A  ISSN： 0387-1037  CODEN： CMNGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ほとんどのプラズマ理工学的手法による材料合成・処理は減圧環境で行われている。これは減圧プラズマが絶対的に優れているというより,そもそも大気圧で材料開発等に適した非平衡プラズマを形成することができなかったためである。操作圧力を大気圧まで拡張できれば,プロセスの簡素化,物質の大量・高速処理,省エネルギー化が可能となるだけでなく,溶液化学との融合など減圧プラズマとは異なる大気圧プラズマ独自の反応系を構築することができる。さらに,減圧~大気圧(気体)~大気圧(液体)~超臨界圧まで操作圧力を拡張することで,減圧から超高圧まで含めた包括的なプラズマケミストリーの理解が可能になるとして,基礎・応用ともに魅力的な分野として現在でも発展を続けている。大気圧プラズマの分類などについて解説した。

シソーラス用語： プラズマ処理 ,  利用 ,  大気プラズマ ,  *プラズマ合成 ,  材料 ,  減圧 ,  開発 ,  プラズマ ,  非平衡状態 ,  簡素化 ,  処理 ,  高速化 ,  化学 ,  反応系 ,  超高圧 ,  プラズマ化学 ,  溶液化学 ,  省エネルギー技術 ,  低温プラズマ ,  改変 ,  節約
準シソーラス用語： 省エネルギー ,  *プラズマプロセス ,  応用 ,  材料開発 ,  省エネルギー化 ,  *大気圧プラズマ ,  大量処理 ,  非平衡プラズマ

分類 (2件)： プラズマ一般  (BJ02010B) ,  化学プロセスの解析  (XC01030R)

タイトルに関連する用語 (3件)： プラズマプロセス ,  応用 ,  大気圧プラズマ