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J-GLOBAL ID：201302240027054213   整理番号：13A0652108

円弧形状を有するすだれ状電極を用いた点集束型表面弾性波噴霧器

著者 (6件)： 矢部敦士 (東北大 大学院) ,  濱手雄一郎 (東北大 大学院) ,  大口裕之 (東北大 大学院) ,  長澤純人 (東北大 大学院) ,  原基揚 (東北大 大学院) ,  桑野博喜 (東北大 大学院)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
巻： 4th  ページ： 231-232  発行年： 2012年10月21日 
JST資料番号： L8358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本講演では,表面弾性波(Surface Acoustic Wave:SAW)ストリーミング現象を利用した点集束型噴霧装置について報告する。本素子では,円弧形状を有する2対のすだれ状電極(Interdizital Transducer:IDT)が128°YX LiNbO₃基板上に形成されており,そのIDT対の真ん中には溝が形成されている。この溝と円弧形状のIDTによって,SAWの放射エネルギーを一点に収束させることができる。本素子を用いて,純水の噴霧実験を行った結果,サブミリオーダの極めて収束性の高い霧の噴出が確認された。本素子は小型・低消費電力に優位性を持ち,今後,医療応用や化学分析の分野への展開が期待される。(著者抄録)

シソーラス用語： 点 ,  集束 ,  *噴霧機 ,  放射エネルギー ,  純水 ,  *櫛形フィルタ ,  信号変換器 ,  *弾性表面波素子 ,  ストリーミング ,  電子回路 ,  噴霧 ,  MEMS

分類 (2件)： 膜流,液滴,気泡,キャビテーション  (BC02070U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 円弧 ,  すだれ状電極 ,  集束 ,  表面弾性波 ,  噴霧器