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J-GLOBAL ID：201302258248098700   整理番号：13A1886534

ソフトリソグラフィを用いた硬質マイクロ流体デバイスの高効率製作手法の開発

著者 (4件)： 茂木克雄 (東京工大) ,  杉井康彦 (東大) ,  山本貴富喜 (東京工大) ,  藤井輝夫 (東大 生産技研)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 30th  ページ： ROMBUNNO.6PM3-PSS-12  発行年： 2013年 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  *流体素子 ,  ポリジメチルシロキサン ,  チャネル ,  熱硬化性プラスチック ,  硬質 ,  *マイクロ流体デバイス ,  マイクロチャネル
準シソーラス用語： *ソフトリソグラフィー ,  マイクロ流路 ,  熱硬化性樹脂

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (7件)： ソフトリソグラフィ ,  硬質 ,  マイクロ流体デバイス ,  高効率 ,  製作 ,  手法 ,  開発