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J-GLOBAL ID：201302262883661264   整理番号：13A1810526

高効率多層アモルファスシリコン導波路間グレーティングカプラ

著者 (8件)： KANG JoonHyun (東京工大) ,  渥美裕樹 (東京工大) ,  林侑介 (東京工大) ,  鈴木純一 (東京工大) ,  雨宮智宏 (東京工大 量子ナノエレクトロニクス研究セ) ,  西山伸彦 (東京工大) ,  荒井滋久 (東京工大) ,  荒井滋久 (東京工大 量子ナノエレクトロニクス研究セ)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2013  号： ソサイエティ大会  ページ： ROMBUNNO.C-3-14  発行年： 2013年09月03日 
JST資料番号： G0508B  ISSN： 1349-144X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *アモルファスシリコン ,  *導波路 ,  *回折格子 ,  *結合器 ,  水素化物 ,  信号伝送 ,  TEモード ,  プラズマCVD ,  化学研磨 ,  結合 ,  化学機械研磨 ,  水素化アモルファスシリコン ,  機械工作
準シソーラス用語： a-Si:H ,  CMP【化学研磨】 ,  カプラ ,  光結合

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高効率 ,  多層 ,  アモルファスシリコン ,  導波路