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J-GLOBAL ID：201302293974245614   整理番号：13A0851211

半導体薄膜光集積に向けたOMVPEによるGaInAsPのButt-Joint再成長

著者 (9件)： 井上大輔 (東京工大) ,  LEE Jieun (東京工大) ,  進藤隆彦 (東京工大 量子ナノエレクトロニクス研究セ) ,  二見充輝 (東京工大) ,  土居恭平 (東京工大) ,  雨宮智宏 (東京工大 量子ナノエレクトロニクス研究セ) ,  西山伸彦 (東京工大) ,  荒井滋久 (東京工大) ,  荒井滋久 (東京工大 量子ナノエレクトロニクス研究セ)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 60th  ページ： ROMBUNNO.29P-B4-6  発行年： 2013年03月11日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *集積光学 ,  *半導体薄膜 ,  MOCVD ,  *ヒ化リン化インジウムガリウム ,  接着 ,  結晶成長 ,  薄膜成長 ,  相互接続 ,  光回路 ,  再成長 ,  界面接着性
準シソーラス用語： オンチップ光配線 ,  OMVPE ,  界面接着 ,  *光集積

分類 (2件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 半導体薄膜 ,  光集積 ,  OMVPE ,  GaInAsP ,  再成長