特許
J-GLOBAL ID:201303009058057091

強誘電体メモリ、多値データ記録方法、および多値データ読出し方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 忠彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-252504
公開番号(公開出願番号):特開2006-108648
特許番号:特許第4785180号
出願日: 2005年08月31日
公開日(公表日): 2006年04月20日
請求項(抜粋):
【請求項1】第1導電型のチャネル領域を含む半導体基体と、 前記半導体基体上に、前記半導体基体中のチャネル領域に対応して、強誘電体膜を介して形成された単一のゲート電極と、 前記半導体基体中、前記チャネル領域の両側にそれぞれ形成された、第2導電型の第1および第2の拡散領域と を含み、 前記強誘電体膜中には、前記第1の拡散領域の近傍に位置する第1の領域と、前記第2の拡散領域の近傍に位置する第2の領域と、前記第1および第2の領域の中間に位置する第3の領域が含まれ、 前記第1、第2および第3の領域には、独立に分極が誘起されていることを特徴とする強誘電体メモリ。
IPC (3件):
H01L 21/8246 ( 200 6.01) ,  H01L 27/105 ( 200 6.01) ,  G11C 11/22 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 27/10 444 A ,  G11C 11/22 503
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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