特許
J-GLOBAL ID：201303018364946079
表面処理方法および表面処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (6件)：
中尾 俊輔
, 伊藤 高英
, 畑中 芳実
, 大倉 奈緒子
, 玉利 房枝
, 鈴木 健之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-271233
公開番号（公開出願番号）：特開2013-122876
出願日： 2011年12月12日
公開日（公表日）： 2013年06月20日
要約：
【課題】粉体などの微粒子または繊維などの糸状物質からなる被処理物の表面に対して、効率よく均一な表面処理を施す表面処理方法および表面処理装置を提供する。【解決手段】プラズマ処理部3が、円筒状の円筒部7aと円筒部7aの下方端に一体として形成されたすり鉢状の円錐部7bとを有し、円筒部7aの側壁には、プラズマの流れによって混合体をプラズマ処理部3の内部へ導入するプラズマ導入部4としての導入口8が形成されている。導入口8は、プラズマ処理部3の内部に対して導入される混合体の導入方向が、方向Aとして示すように、プラズマ処理部3としての円筒部7aと円錐部7bの内面に沿って円筒部7aおよび円錐部7bの中心軸回りに旋回する方向とされるように形成される。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
微粒子または糸状物質からなる被処理物の表面にプラズマを接触させてプラズマ処理を施す表面処理方法において、
処理容器の内部にプラズマを導入することにより、前記処理容器の内部の所定領域を前記プラズマで満たし、
前記プラズマによって所定領域が満たされた状態の前記処理容器の内部へ前記被処理物を導入し、
前記処理容器の内部へ前記プラズマを導入し続けるとともに、当該前記プラズマの流れにより、前記被処理物と前記プラズマとの混合体を攪拌しながら前記被処理物の表面に前記プラズマを接触させてプラズマ処理を施すことを特徴とする表面処理方法。
IPC (3件)：
H05H 1/24
, C23C 16/50
, B01J 19/08
H05H1/24
, C23C16/50
, B01J19/08 K
4G075AA27
, 4G075AA30
, 4G075BA05
, 4G075BB05
, 4G075BD08
, 4G075BD14
, 4G075CA47
, 4G075DA02
, 4G075EB41
, 4K030CA13
, 4K030CA18
, 4K030FA01
