レンズ駆動装置およびレーザ加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-076164
公開番号（公開出願番号）：特開2013-202679
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：

【課題】電気的な中心位置と変位計から得られる中心位置との間の位置ずれ量を補正することができるレンズ駆動装置を得ること。【解決手段】加工レンズ4を保持するレンズホルダ11Pと、レンズホルダ11Pを、静圧空気軸受けを用いて浮上させ電磁石12で駆動するアクチュエータ9Aと、レンズホルダ11Pの位置を測定する変位計14と、各電磁石12に流す電流の大きさに基づいてレンズホルダ11Pの電気的な中心位置を検出するとともに、変位計14を用いて測定されたレンズホルダ11Pの位置に基づいてレンズホルダ11Pの中心位置である測定中心位置を検出する信号処理装置と、を備え、信号処理装置は、レンズホルダ11Pの電気的な中心位置と測定中心位置との間の位置ずれ量を算出するとともに、位置ずれ量を補正した位置にレンズホルダ11Pが移動するようアクチュエータ9Aに電流を流す。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光して被加工物に照射する加工レンズと、前記加工レンズを保持するレンズホルダと、前記レンズホルダを、静圧空気軸受けを用いて浮上させ電磁石で駆動するアクチュエータと、前記レンズホルダの位置を測定する変位計と、前記各電磁石に流す電流の大きさに基づいてレンズホルダの電気的な中心位置を検出するとともに、前記変位計を用いて測定されたレンズホルダの位置に基づいて前記レンズホルダの中心位置である測定中心位置を検出する信号処理装置と、を備え、前記信号処理装置は、前記レンズホルダの電気的な中心位置と前記測定中心位置との間の位置ずれ量を算出するとともに、前記位置ずれ量を補正した位置に前記レンズホルダが移動するよう前記アクチュエータに電流を流すことを特徴とするレンズ駆動装置。

IPC (3件)：

B23K 26/04 , B23K 26/00 , B23K 26/14

FI (3件)：

B23K26/04 A , B23K26/00 M , B23K26/14 Z

Fターム (6件)：

4E068CA06 , 4E068CC04 , 4E068CC06 , 4E068CD08 , 4E068CD13 , 4E068CJ01

引用特許：

審査官引用 (4件)

トレパニングヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-159566 出願人：住友重機械工業株式会社
平行移動装置およびこれを用いた露光装置のレンズ移動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-037421 出願人：キヤノン株式会社
特公平6-003438

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