特許
J-GLOBAL ID:201303061360983223
微粒子表面への金属コーティング方法および該方法によって金属コーティングされた微粒子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
川口 嘉之
, 松倉 秀実
, 和久田 純一
, 遠山 勉
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-174981
公開番号(公開出願番号):特開2009-013454
特許番号:特許第4753049号
出願日: 2007年07月03日
公開日(公表日): 2009年01月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 基板上に薄膜を形成する工程と、
微粒子の一部を前記薄膜に埋め込んでその微粒子の一部をマスキングする工程と、
前記微粒子のマスキングされていない表面に金属コーティングを施す工程と、
を含む微粒子表面への金属コーティング方法。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
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