特許
J-GLOBAL ID：201303064975850141
電界分布又はキャリア分布を高次高調波の強度に基づいて検出する検出装置及びその検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-058219
公開番号（公開出願番号）：特開2008-218957
特許番号：特許第5109123号
出願日： 2007年03月08日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 観察対象物の観察対象層の同一面上に離間して設けられた2つの電極の間の前記観察対象層に設けられた複数の測定領域における電界分布又はキャリア分布を高次高調波の強度に基づいて検出する検出装置であって、
前記複数の測定領域から選択された観察対象領域に基本波を照射する照射部と、
第1信号に基づき前記照射部より前記観察対象領域に前記基本波を照射させ、前記第1信号よりも前に出力する第2信号に基づき前記観察対象物の前記2つの電極の間の前記観察対象層に電圧を印加する制御信号出力部と、
前記複数の測定領域から前記観察対象領域を選択して前記基本波を前記観察対象領域に照射させ、かつ、前記第1の信号の出力時点を制御する処理部と、
前記観察対象物の前記2つの電極の間の前記観察対象層に電圧を印加した時の、前記観察対象領域の電界分布又はキャリア分布に応じて生成された前記高次高調波を検出する検出部と、を備え、
前記制御信号出力部は、前記第1信号の出力時点と前記第2信号の出力時点との間の時間間隔が異なる複数の条件にて、前記第1信号を出力し、
前記処理部は、前記観察対象領域について前記複数の条件での前記高次高調波の検出が終了したら、前記複数の測定領域から前記複数の条件での前記高次高調波の検出が終了していない測定領域を次の観察対象領域として選択し、前記次の観察対象領域に前記基本波を照射させることで、前記複数の測定領域のそれぞれについて前記複数の条件での前記高次高調波を前記検出部に検出させる、
検出装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, H01L 29/786 ( 200 6.01)
, H01L 21/336 ( 200 6.01)
, H01L 51/05 ( 200 6.01)
H01L 21/66 L
, H01L 29/78 618 B
, H01L 29/78 624
, H01L 29/28 100 A
