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J-GLOBAL ID：201402203755091871   整理番号：14A0361289

超音波表面弾性波によるボロン添加CZシリコンの原子空孔軌道の研究

著者 (11件)： 高須理栄 (新潟大 大学院) ,  馬場正太郎 (新潟大 大学院) ,  三本啓輔 (新潟大) ,  赤津光洋 (新潟大 理) ,  根本祐一 (新潟大 大学院) ,  後藤輝孝 (新潟大 大学院) ,  金田寛 (九州工大 大学院) ,  古村雄二 (フィルテック) ,  斉藤広幸 (グローバルウェーハズ・ジャパン) ,  鹿島一日兒 (グローバルウェーハズ・ジャパン) ,  斉藤芳彦 (東芝)
資料名： 日本物理学会講演概要集  (日本物理学会年次大会講演概要集)
巻： 69  号： 1 第3分冊  ページ： 579  発行年： 2014年03月05日 
JST資料番号： S0671B  ISSN： 1342-8349  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *弾性表面波 ,  *超音波 ,  ホウ素 ,  ドーピング ,  *ケイ素 ,  *空孔欠陥 ,  Czochralski法 ,  原子空孔
準シソーラス用語： ボロン ,  CZ法

分類 (2件)： 固体の音波物性一般  (BL02031U) ,  半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： 超音波 ,  表面弾性波 ,  ボロン ,  シリコン ,  原子空孔 ,  軌道 ,  研究