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J-GLOBAL ID：201402219408361331   整理番号：14A0146655

ホローカソード型高密度プラズマ源の開発および微細パターン作製への応用

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著者 (4件)： 鍋澤浩文 (富山県工技セ) ,  浅地豊久 (立山マシン) ,  加藤裕史 (大阪大) ,  安部隆 (新潟大)
資料名： 富山県工業技術センター研究報告  (Report of the Toyama Industrial Technology Center)
号： 26  ページ： 65  発行年： 2012年07月27日 
JST資料番号： X0426B  ISSN： 0914-2207  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： ホローカソード ,  高密度プラズマ ,  開発 ,  微細パターン ,  作製 ,  応用