文献
J-GLOBAL ID：201402219408361331
整理番号：14A0146655
ホローカソード型高密度プラズマ源の開発および微細パターン作製への応用
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著者 (4件)：
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資料名：
号：
26
ページ：
65
発行年：
2012年07月27日
JST資料番号：
X0426B
ISSN：
0914-2207
資料種別：
逐次刊行物 (A)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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