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J-GLOBAL ID：201402249957141374   整理番号：14A1166893

プラズマ活性化貼付法を用いたリング共振器ミラー装荷型GaInAsP/SOIハイブリッドレーザの作製

著者 (9件)： 林侑介 (東京工大) ,  鈴木純一 (東京工大) ,  井上慧史 (東京工大) ,  KANG J. (東京工大) ,  久能雄輝 (東京工大) ,  雨宮智宏 (東京工大 量子ナノエレクトロニクス研究セ) ,  西山伸彦 (東京工大) ,  荒井滋久 (東京工大) ,  荒井滋久 (東京工大 量子ナノエレクトロニクス研究セ)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2014  号： ソサイエティ大会  ページ： ROMBUNNO.C-4-15  発行年： 2014年09月09日 
JST資料番号： G0508B  ISSN： 1349-144X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光通信 ,  *光集積回路 ,  ウエハ【IC】 ,  リング共振器 ,  反射鏡 ,  ヒ化リン化インジウムガリウム ,  *SOI構造 ,  ハイブリッド方式 ,  *導波路レーザ ,  *素子構造 ,  化合物半導体 ,  プラズマ ,  活性化 ,  貼合せ ,  生産工程 ,  *注入レーザ ,  *光度 ,  依存性 ,  *発光スペクトル ,  波長依存性 ,  製造 ,  III-V半導体 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： GaInAsP ,  III-V族半導体 ,  Si基板 ,  電流依存性

分類 (3件)： 光通信方式・機器  (ND10000B) ,  光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (8件)： プラズマ活性化 ,  貼付 ,  リング共振器 ,  ミラー ,  GaInAsP ,  SOI ,  レーザ ,  作製