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J-GLOBAL ID：201402255014614710   整理番号：14A1099443

大気圧プラズマ支援による酸化亜鉛薄膜の形成に向けたプラズマ/ミスト相互作用の解析

著者 (3件)： 竹中弘祐 (阪大 接合研) ,  内田儀一郎 (阪大 接合研) ,  節原裕一 (阪大 接合研)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 75th  ページ： ROMBUNNO.18P-PB5-8  発行年： 2014年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 透明導電膜 ,  *酸化亜鉛 ,  *化学蒸着 ,  *プラズマCVD ,  薄膜成長 ,  半導体薄膜 ,  プラズマ ,  発光スペクトル ,  *ミストCVD ,  低温プラズマ
準シソーラス用語： 大気圧プラズマ ,  非平衡プラズマ

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 大気圧プラズマ ,  支援 ,  酸化亜鉛薄膜 ,  プラズマ ,  ミスト ,  相互作用 ,  解析