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J-GLOBAL ID：201402257450908609   整理番号：14A0370309

フェムト秒レーザー直接描画と加熱による可視波長域にフォトニックバンドギャップを持つ3次元フォトニック結晶の作製

著者 (4件)： 常盤塁也 (北大 電子科研) ,  SUN Quan (北大 電子科研) ,  上野貢生 (北大 電子科研) ,  三澤弘明 (北大 電子科研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 61st  ページ： ROMBUNNO.18P-E16-13  発行年： 2014年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *パルスレーザ ,  *レーザリソグラフィー ,  可視光 ,  フォトニックバンドギャップ ,  *結晶 ,  顕微分光分析 ,  赤外吸収スペクトル ,  電子顕微鏡観察 ,  *反射スペクトル ,  *フェムト秒レーザ ,  *フォトニック結晶 ,  FTIRスペクトル
準シソーラス用語： レーザ直接描画 ,  顕微分光法 ,  光反射スペクトル

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： フェムト秒レーザー ,  直接描画 ,  波長域 ,  フォトニックバンドギャップ ,  3次元フォトニック結晶 ,  作製