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J-GLOBAL ID：201402265227103839   整理番号：14A1097364

環状オリゴマーに基づいた化学増幅型分子レジストのレジスト性能評価に関する研究

著者 (3件)： 山本洋揮 (ISIR Osaka Univ.) ,  工藤宏人 (Kansai Univ.) ,  古澤孝弘 (ISIR Osaka Univ.)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 75th  ページ： ROMBUNNO.17A-A14-4  発行年： 2014年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *オリゴマ ,  *大環状化合物 ,  *化学増幅レジスト ,  感光性高分子 ,  感度 ,  *リソグラフィー ,  分解能 ,  ナノメータ加工 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  分子レジスト
準シソーラス用語： 環状オリゴマ ,  ナノリソグラフィー

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 環状 ,  オリゴマー ,  化学 ,  増幅 ,  分子レジスト ,  レジスト ,  性能評価 ,  研究