文献
J-GLOBAL ID：201402278480834747
整理番号：14A0133776
ホローカソード型高密度プラズマ源の開発および微細パターン作製への応用
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著者 (5件)：
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資料名：
号：
27
ページ：
49
発行年：
2013年07月25日
JST資料番号：
X0426B
ISSN：
0914-2207
資料種別：
逐次刊行物 (A)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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