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J-GLOBAL ID：201402291641259566   整理番号：14A0152889

光集積回路作製に向けた指向性光共振用ガラス微小球形成技術の開発

著者 (1件)： 岸哲生 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 村田学術振興財団年報  (Annual Report of the Murata Science Foundation)
号： 27  ページ： 395-402  発行年： 2013年12月 
JST資料番号： L5491A  ISSN： 0919-3383  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロメートルサイズの透明な球体は球界面での全反射を利用することで光を閉じ込める光共振器となり,光集積回路への適用が期待される。シリカガラスおよびSi基板上の1mol%Nd₂O₃添加10K₂O-10WO₃-80TeO₂ガラス粉末をレーザ局所加熱することによって,基板上に真球度98%以上の透明球を形成した。レーザ照射条件を調整することにより,球体中に気泡を任意の位置に設置することが可能となる。この微小球および気泡含有微小球の光共振特性を評価した。気泡含有微小球はNd³⁺由来のレーザ発振を示し,良好な発振特性(低閾値,多くの波長での発振と低い励起波長依存性)を有していた。この光共振用微小球を基板上に集積した光回路の作製の可能性を示した。

シソーラス用語： *光集積回路 ,  *光共振器 ,  *石英ガラス ,  ガラス ,  *酸化テルル ,  *酸化タングステン ,  *酸化カリウム ,  *酸化ネオジム ,  *レーザ加熱 ,  透明材料 ,  球 ,  *ミクロスフェア ,  *レーザ発振 ,  光回路 ,  テルライトガラス
準シソーラス用語： シリカガラス

分類 (3件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  ガラスの製造  (YC02020O) ,  レーザ一般  (BD04030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 光集積回路 ,  作製 ,  指向性 ,  共振 ,  ガラス ,  微小球 ,  開発