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J-GLOBAL ID：201502201151314983   整理番号：15A0941405

大気圧CVD法による酸化スズ及び酸化ガリウムナノワイヤーの成長

Growth of SnO₂ and Ga₂O₃ Nanowires by Atmospheric-pressure CVD

著者 (3件)： 寺迫智昭 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  倉重利規 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  矢木正和 (香川高専)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 115  号： 105(OME2015 24-33)  ページ： 17-22  発行年： 2015年06月12日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金属(スズもしくはガリウム)と水を原料,金(Au)を触媒に用いた大気圧化学気相堆積(CVD)法で成長温度,原料供給比及び成長時間をパラメータとして酸化スズ(SnO₂)ナノワイヤー(NWs)及び単斜晶酸化ガリウム(β-Ga₂O₃)ナノ構造の成長実験を行った。ナノ構造のモフォロジーは,昇温時のAuナノ粒子同士の合体や気相-液相-固相(VLS)機構と気相-固相(VS)機構の競合の度合に依存して変化することが明らかになった。SnO₂ NWsとGa₂O₃ナノ構造のフォトルミネッセンススペクトルでは,化学量論組成からの逸脱によって導入された真性欠陥が関与すると考えられるブロードな可視発光が支配的であった。(著者抄録)

シソーラス用語： 化学蒸着 ,  *酸化スズ ,  *酸化ガリウム ,  *ナノワイヤ ,  単斜晶系 ,  可視発光スペクトル ,  化学組成 ,  スペクトル ,  ナノ構造 ,  液相 ,  ナノ粒子 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  化学量論組成 ,  表面形態 ,  相 ,  構造
準シソーラス用語： CVD【化学蒸着】 ,  フォトルミネセンススペクトル ,  化学気相堆積 ,  単斜晶 ,  表面モルフォロジー

分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  酸化物の結晶成長  (BK13050I)

引用文献 (25件)：

• C. Ferekides, J. Britt, CdTe solar cells with efficiencies over 15%, Sol. Energy Mat. Sol. Cells, Vol.35, No.1-4, pp.255-262, Sep. 1994.
• W. Göpel, K. D. Schierbaum, SnO₂ sensors: current status and future prospects, Sens. Actuators B, Vol.26, No1-3, pp.1-12, May 1995.
• R. Roy, V. E. F. Osborn, Polymorphism of Ga₂O₃ and the System Ga₂O₃-H₂O, J. Am. Chem. Soc. Vol.74, No.3, pp.719-722, Feb. 1952.
• 東脇正高, ”酸化ガリウムパワーデバイス研究開発の現状と今後”, 電子情報通信学会誌, Vol.97, No.3, pp.205-208, Mar.2014.
• Y. Kokubun, K. Miura, F. Endo, S. Nakagomi, Sol-gel prepared β-Ga₂O₃ thin films for ultraviolet photodetectors, Appl. Phys. Lett. Vol.90, No.3, art. no. 031912, Jan. 2007.

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧 ,  CVD法 ,  酸化スズ ,  酸化ガリウム ,  ナノワイヤー ,  成長