マルチフィジクス・シミュレーションを用いたアレイ型MEMS論理デバイスの制御方法の検討

小西敏文; 町田克之; 三田信; 藤田博之; 年吉洋

文献

J-GLOBAL ID：201502201194697380 整理番号：15A0978708

マルチフィジクス・シミュレーションを用いたアレイ型MEMS論理デバイスの制御方法の検討

A study on an operation sequence for arrayed MEMS logic devices with multi-physics simulation

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資料名：
巻： MSS-15 号： 15-34 ページ： 1-5 発行年： 2015年07月03日
JST資料番号： L2898B 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

MEMS技術を用いて作製した静電駆動型のMEMS論理デバイスについて,統合設計技術を用いて等価回路モデルを構築し,過渡解析行い,考察した結果,デバイスの非線形な挙動を解析できることを確認した。また,構築した等価回路モデルを10×10のアレイ状に配置し,共通結線にして配線数を削減した状態で,各デバイスを独立かつ同時に制御する手法について検討した。マルチフィジクス・シミュレーションを用いて,提案した手法の妥当性を検証したところ,多数配置したMEMS論理デバイスの制御に有効な手法であることを確認した。

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論理回路

引用文献 (13件)：

K. F. BÖhringer, B. R. Donald, N. C. MacDonald, G. T. A. Kovacs, and J. W. Suh, “Computational Methods for Design and Control of MEMS Micromanipulator Arrays,“ IEEE Computational Science and Engineering, Vol. 4, Issue 1, pp. 17-29 (1997).
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B. Rubehn, C. Bosman, R. Oostenveld, P. Fries, and T. Stieglitz, “A MEMS-based flexible multichannel ECoG-electrode array,“ J. Neural Eng., Vol. 6, No. 3, pp. 036003 (2009).

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