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J-GLOBAL ID:201502206463269005   整理番号:15A0283143

反射鏡構造を用いたMHz帯パワー超音波振動系の検討

A MHz Power Ultrasonic Vibration System using a Parabolic Boundary Reflector
著者 (5件):
資料名:
巻: 114  号: 363(US2014 65-73)  ページ: 23-28  発行年: 2014年12月08日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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MHz帯のパワー超音波源として,金属と空気の境界を放物面とした反射鏡構造で集束する振動系を考案した。厚み振動するジルコン酸チタン酸鉛(PZT)振動子を金属ブロックに貼り付けて,ブロック内に送波し,空気との境界に設けた放物面で線集束する。反射鏡形状を決定するパラメータのうち3種について,集束点での振動振幅との関係を音線追跡法と有限要素解析法で調べた。また,ジュラルミン製の反射鏡を3種試作し,出力面の振動分布等を計測し,シミュレーション結果と比較した。試作した反射鏡では1.17MHzで40Wの電力投入時に焦点付近で23nmの振動振幅を得た。焦点では熱可塑性プラスチック溶着が可能な出力が得られた。(著者抄録)
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分類 (3件):
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特殊加工  ,  溶接技術  ,  音響変換器,その他の機器 
引用文献 (6件):
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