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J-GLOBAL ID：201502216769156510   整理番号：15A0293112

枚葉式シリコンウエハ洗浄装置モデルのOpenFOAMによる数値計算

著者 (6件)： 久米田高輝 (岡大 院) ,  清水義也 (岡大 院) ,  森洋平 (岡大 院) ,  福田修也 (岡大) ,  河内俊憲 (岡大 院) ,  柳瀬眞一郎 (岡大 院)
資料名： 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会中国四国支部総会・講演会(CD-ROM))
巻： 51st  ページ： ROMBUNNO.1114  発行年： 2013年 
JST資料番号： L0015B  ISSN： 2424-2764  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 洗浄 ,  方式 ,  粒子画像流速測定 ,  実験 ,  プログラムパッケージ ,  数値計算 ,  縦渦 ,  *回転数 ,  Goertler渦 ,  *CFD【流体力学】 ,  *流体力学 ,  *物理学 ,  *科学 ,  *力学 ,  *連続体力学 ,  *自然科学
準シソーラス用語： *計算流体力学 ,  *シリコンウエハ洗浄 ,  枚葉式 ,  OpenFOAM

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  物体の周りの流れ  (BC02040N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 枚葉式 ,  シリコンウエハ洗浄 ,  モデル ,  OpenFOAM ,  数値計算