特許
J-GLOBAL ID：201503001315107708
プラズマ処理装置およびプラズマ処理された処理対象物
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (4件)：
中尾 俊輔
, 伊藤 高英
, 大倉 奈緒子
, 玉利 房枝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-220144
公開番号（公開出願番号）：特開2015-072913
出願日： 2014年10月29日
公開日（公表日）： 2015年04月16日
要約：
【課題】 少なくとも一部に通気性部分を有する処理対象物の当該通気性部分の内部にまでプラズマ処理を施すことができるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】 少なくとも一部に通気性部分を有する処理対象物1の前記通気性部分の内部にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置2であって、筐体の側面に前記処理対象物1を内部に搬入する搬入口4aと内部から搬出する搬出口4bとが形成されているとともに、筐体の上面にプラズマを導入するための導入口9とプラズマを排出するための排出口10とが前記処理対象物1の搬送方向に並んで設けられた処理室4と、前記処理対象物1に熱ダメージを与えないダメージフリープラズマを生成するプラズマ生成部3aと、前記排出口10から排出された気体の温度情報に基づいて前記プラズマ生成部3aに導入されるプラズマ生成用ガスの温度を制御する温度制御手段としての温度制御部21を備えることを特徴とする。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
少なくとも一部に通気性部分を有する処理対象物の前記通気性部分の内部にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、
筐体の側面に前記処理対象物を内部に搬入する搬入口と内部から搬出する搬出口とが形成されているとともに、筐体の上面にプラズマを導入するための導入口とプラズマを排出するための排出口とが前記処理対象物の搬送方向に並んで設けられた処理室と、
前記処理対象物に熱ダメージを与えないダメージフリープラズマを生成するプラズマ生成部と、
前記排出口から排出された気体の温度情報に基づいて前記プラズマ生成部に導入されるプラズマ生成用ガスの温度を制御する温度制御手段とを備えることを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
4K030AA06
, 4K030AA11
, 4K030AA14
, 4K030AA16
, 4K030AA18
, 4K030BA44
, 4K030CA07
, 4K030CA08
, 4K030CA12
, 4K030EA03
, 4K030EA14
, 4K030FA01
, 4K030GA12
, 4K030JA10
, 4K030KA09
, 4K030KA30
, 4K030KA36
, 4K030KA39
, 4K030LA24
