特許
J-GLOBAL ID：201503004732520510
プラズマ発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-267354
公開番号（公開出願番号）：特開2012-119145
特許番号：特許第5807854号
出願日： 2010年11月30日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 マイクロ波を照射するマイクロ波照射装置と、
前記マイクロ波を受信する主受信部、前記主受信部の一端から延びる第一電極部、及び前記主受信部の他端から延びて先端が前記第一電極部の先端と離間且つ近接している第二電極部を有する導体からなるプラズマ用アンテナ電極と、
を備え、
前記プラズマ用アンテナ電極は、複数の前記導体を有し、主に前記主受信部が前記マイクロ波を受信して、前記プラズマ用アンテナ電極に定常波を発生させ、
前記複数の導体は、各導体の前記主受信部同士が交差して配置されていることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (2件)：
H05H 1/24 ( 200 6.01)
, C23C 16/511 ( 200 6.01)
